インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：上柳雅誉 , 藤綱英吉 , 須澤修
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-038880
公開番号（公開出願番号）：特開平11-309864
特許番号：特許第3610811号
出願日： 1999年02月17日
公開日（公表日）： 1999年11月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ノズル開口に連通する圧力発生室の一部を構成し、弾性膜とその上に形成された下電極とからなる振動板と、該振動板の表面に形成された圧電体層及び該圧電体層の表面に形成された上電極からなる圧電体能動部とからなり、少なくとも前記下電極、前記圧電体層、前記上電極が成膜及びリソグラフィ法を用いて形成された圧電振動子を備えるインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記振動板は、前記圧力発生室内側の少なくとも幅方向両側に長手方向に亘って凹部を有し、当該凹部の深さは、前記弾性膜の厚さの0.5倍以上で、前記下電極の一部に到達するまでの範囲であることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。

IPC (2件)：