特許

J-GLOBAL ID：201103030608094571

圧電特性測定方法および圧電特性測定システム

発明者： 小西 晃雄
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-109034
公開番号（公開出願番号）：特開2011-237281
出願日： 2010年05月11日
公開日（公表日）： 2011年11月24日
要約：

【課題】圧電特性(d31定数)を、高精度で求めることができる圧電特性測定方法等を提供すること。【解決手段】本発明に係る圧電特性測定方法は、基板と、前記基板上に設けられた圧電素子と、を有する被測定体の圧電特性測定方法であって、前記被測定体の一端を固定することで、前記被測定体を保持する工程と、前記圧電素子の圧電体層に電圧信号を印加して、前記被測定体を振動状態とする工程と、振動状態の前記被測定体に光源からレーザー光を照射し、前記被測定体から反射した反射光を得る工程と、レーザードップラー振動計を用いて、前記反射光と前記光源からの参照光とから、前記被測定体の変位量の経時的変化を得る工程と、前記変位量から前記被測定体の前記圧電体層の圧電特性を算出する工程と、を含み、前記反射光を得る工程において、前記レーザー光は、前記被測定体の2次振動の節に対して照射される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板上に設けられた圧電素子と、を有する被測定体の圧電特性測定方法であって、 前記被測定体の一端を固定することで、前記被測定体を保持する工程と、 前記圧電素子の圧電体層に電圧信号を印加して、前記被測定体を振動状態とする工程と、 振動状態の前記被測定体に光源からレーザー光を照射し、前記被測定体から反射した反射光を得る工程と、 レーザードップラー振動計を用いて、前記反射光と前記光源からの参照光とから、前記被測定体の変位量の経時的変化を得る工程と、 前記変位量から前記被測定体の前記圧電体層の圧電特性を算出する工程と、 を含み、 前記反射光を得る工程において、前記レーザー光は、前記被測定体の2次振動の節に対して照射される、圧電特性測定方法。

IPC (5件)：

G01R 29/22 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/193

FI (7件)：

G01R29/22 Z ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/18 102 ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101Z