特許

J-GLOBAL ID：201103030794810508

液体吐出ヘッドの製造方法

発明者： 安田 建
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (3件)： 宮崎 昭夫 ,  石橋 政幸 ,  緒方 雅昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-211999
公開番号（公開出願番号）：特開2011-056906
出願日： 2009年09月14日
公開日（公表日）： 2011年03月24日
要約：

【課題】本発明は貫通口の加工精度を工程数を増やさずに向上できる液体吐出ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】本発明は、シリコン基板の裏面の電極と貫通口を通して電気的に接続される発熱抵抗素子を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、(1)前記シリコン基板の上に、前記発熱抵抗素子となる発熱抵抗層を形成する工程と、(2)前記シリコン基板の裏面からプラズマを用いたドライエッチングにより前記発熱抵抗層に達するように前記貫通口を形成する工程と、を含み、前記工程(2)において、前記ドライエッチングによる前記発熱抵抗層からの発光スペクトルを検出することにより、前記貫通口の貫通を検知することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

シリコン基板の裏面の電極と貫通口を通して電気的に接続される発熱抵抗素子を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、 (1)前記シリコン基板の上に、前記発熱抵抗素子となる発熱抵抗層を形成する工程と、 (2)前記シリコン基板の裏面からプラズマを用いたドライエッチングにより前記発熱抵抗層に達するように前記貫通口を形成する工程と、 を含み、 前記工程(2)において、前記ドライエッチングによる前記発熱抵抗層からの発光スペクトルを検出することにより、前記貫通口の貫通を検知することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。

IPC (2件)：

B41J 2/16 ,  B05C 5/00

FI (2件)：

B41J3/04 103H ,  B05C5/00 101

Fターム (9件)：

2C057AF93 ,  2C057AP32 ,  2C057BA13 ,  4F041AA02 ,  4F041AB01 ,  4F041BA02 ,  4F041BA12 ,  4F041BA13 ,  4F041BA17