特許

J-GLOBAL ID：201103031202115671

表面形状測定装置および方法

発明者： 梅垣 嘉之
出願人/特許権者： JFEスチール株式会社
代理人 (2件)： 落合 憲一郎 ,  森 和弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-253747
公開番号（公開出願番号）：特開2011-099729
出願日： 2009年11月05日
公開日（公表日）： 2011年05月19日
要約：

【課題】走行する薄鋼板表面上に加工される微小凹凸形状を高精度で測定することを可能とする表面形状測定装置および方法を提供することを課題とする。【解決手段】光学式変位計で相対的に移動する物体の表面を走査して、測定した変位信号から物体表面の凹凸形状を取得し、変位信号と同期して受光する反射光強度を反射光強度信号として取得し、凹凸形状からうねりを取除いて補正凹凸形状を算出し、補正凹凸形状と反射光強度信号に基いて凹部の底部範囲または凸部の山部範囲として特定し、底部範囲または山部範囲内にある補正凹凸形状から凹部の深さまたは凸部の高さを算出し、底部範囲または山部範囲の両端より外側で最も近い点を凹凸部のエッジとして検出し、検出したそれぞれのエッジ間の距離から凹部または凸部の幅を算出する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

物体表面の凹凸形状を測定する表面形状測定装置であって、 スポット光もしくはスリット光を照射して行う三角測距を、相対的に移動する物体の表面を走査して行い、前記物体の表面との変位を測定する光学式変位計と、 該光学式変位計で測定した変位信号から物体表面の凹凸形状を取得する、凹凸形状取得部と、 前記変位信号と同期して、前記光学式変位計が受光する反射光強度を反射光強度信号として取得する、反射光強度取得部と、 前記凹凸形状からうねりを取除いて補正凹凸形状を算出する、凹凸形状補正部と、 前記補正凹凸形状の物体表面からの変化の絶対値が所定の閾値以上かつ対応する前記反射光強度信号が所定強度以上である範囲を、凹部の底部範囲または凸部の山部範囲として特定する、溝底部検出部と、 前記底部範囲または山部範囲内にある前記補正凹凸形状から凹部の深さまたは凸部の高さを算出する、溝深さ算出部と、 前記補正凹凸形状の物体表面からの変化の絶対値が前記所定の閾値より小さくかつ対応する前記反射光強度信号が所定強度以上である点のうち前記底部範囲または山部範囲の両端より外側で最も近い点を凹凸部のエッジとしてそれぞれ検出する、溝エッジ検出部と、 検出したそれぞれのエッジ間の距離から凹部または凸部の幅を算出する、溝幅算出部と、 を備えたことを特徴とする表面形状測定装置。

IPC (1件)：

G01B 11/30

FI (1件)：

G01B11/30 A

Fターム (26件)：

2F065AA06 ,  2F065AA12 ,  2F065AA17 ,  2F065AA22 ,  2F065AA24 ,  2F065AA49 ,  2F065BB13 ,  2F065CC06 ,  2F065DD04 ,  2F065FF09 ,  2F065FF41 ,  2F065GG04 ,  2F065HH04 ,  2F065HH05 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ16 ,  2F065JJ18 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM01 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ14 ,  2F065QQ15 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ33