特許

J-GLOBAL ID：201103031307276999

薄膜形成装置のゲートバルブ

発明者： 大見 忠弘 ,  柴田 直 ,  梅田 優
出願人/特許権者： 大見 忠弘
代理人 (1件)： 福森 久夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-337945
公開番号（公開出願番号）：特開平8-330291
特許番号：特許第2882765号
出願日： 1989年01月11日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 隣接する2つの減圧室を仕切る隔壁に形成された開口部を開閉自在とするように構成された薄膜形成装置のゲートバルブにおいて、前記開口部を覆うように形成された薄板と、該薄板をその板面と略平行な方向に揺動させるための駆動手段と、前記薄板と前記隔壁との間に直流電圧を印加するための電圧供給手段とを備えたことを特徴とする薄膜形成装置のゲートバルブ。

IPC (5件)：

H01L 21/31 ,  B01J 19/08 ,  C23C 14/56 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/285

FI (5件)：

H01L 21/31 A ,  B01J 19/08 F ,  C23C 14/56 H ,  H01L 21/203 S ,  H01L 21/285 S