特許

J-GLOBAL ID：201103031472254266

プローブ装置

発明者： 土井 泰徳 ,  遠山 博 ,  梅村 馨 ,  富松 聡 ,  鹿島 秀夫 ,  金友 正文 ,  山本 立春 ,  松村 泰秀
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-256721
公開番号（公開出願番号）：特開2001-083055
特許番号：特許第3785869号
出願日： 1999年09月10日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】試料をFIBで加工して上記試料から微小試料をプローブで切り離すプローブ装置において、上記微小試料が上記試料から離れた瞬間の変化信号を分離検出信号として検知し、該検知状態を保持することを特徴とするプローブ装置。

IPC (2件)：

G01N 1/28 ( 200 6.01) ,  H01L 21/66 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G01N 1/28 G ,  H01L 21/66 B

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特許第2774884号