特許

J-GLOBAL ID：201103031503050729

リニアモータ、移動体装置、露光装置、デバイス製造方法、及びフラットパネルディスプレイの製造方法

発明者： 青木 保夫
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-114988
公開番号（公開出願番号）：特開2011-244608
出願日： 2010年05月19日
公開日（公表日）： 2011年12月01日
要約：

【課題】リニアモータの固定子と可動子との衝突を防止する。【解決手段】Xボイスコイルモータ18xの固定子73に、ストッパブロック70を固定する。ストッパブロック70と可動子71のヨーク75との間のY軸方向に関するクリアランスは、コイルユニット78と磁石ユニット77とのY軸方向に関するクリアランスよりも狭く設定されている。従って、コイルユニット78と磁石ユニット77が接触するよりも前にストッパブロック70とヨーク75とが接触し、これによりコイルユニット78及び磁石ユニット77が保護される。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

所定の二次元平面内の一軸方向に駆動力を発生するリニアモータであって、 第1電磁部材を含む固定子と; 前記第1電磁部材に対して前記二次元平面に直交する方向に対向して配置された第2電磁部材を含み、前記第1及び第2電磁部材の電磁相互作用により前記固定子に対して前記一軸方向に移動する可動子と; 前記固定子に設けられた第1当接部材と、前記可動子に設けられた第2当接部とを含み、前記二次元平面に平行で前記一軸方向に直交する方向に関して、前記第1電磁部材と前記第2電磁部材との間のクリアランスよりも前記第1当接部と前記第2当接部との間のクリアランスが狭く設定されたストッパ装置と;を備えるリニアモータ。

IPC (5件)：

H02K 41/03 ,  G03F 7/20 ,  H01L 21/027 ,  H02K 41/02 ,  G02F 1/13

FI (5件)：

H02K41/03 A ,  G03F7/20 501 ,  H01L21/30 516B ,  H02K41/02 C ,  G02F1/13 101

Fターム (32件)：

2H088FA17 ,  2H088FA18 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20 ,  2H097AB07 ,  2H097BA10 ,  2H097GB00 ,  2H097LA12 ,  5F046BA05 ,  5F046CC01 ,  5F046CC03 ,  5F046CC13 ,  5F046CC16 ,  5F046CC18 ,  5F146BA05 ,  5F146CC01 ,  5F146CC03 ,  5F146CC13 ,  5F146CC16 ,  5F146CC18 ,  5H641BB06 ,  5H641BB15 ,  5H641BB16 ,  5H641GG03 ,  5H641GG06 ,  5H641HH02 ,  5H641JA02 ,  5H641JA09 ,  5H641JA10 ,  5H641JA20 ,  5H641JB06