特許

J-GLOBAL ID：201103031518836559

電子顕微鏡、および試料ホルダ

発明者： 矢口 紀恵 ,  長久保 康平 ,  渡部 明
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
代理人 (2件)： 井上 学 ,  戸田 裕二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-038105
公開番号（公開出願番号）：特開2011-175809
出願日： 2010年02月24日
公開日（公表日）： 2011年09月08日
要約：

【課題】本発明の目的は、試料とガスの反応が観察可能な電子線装置用試料保持装置を提供することにある。【解決手段】上記の課題の一つを解決するため、本発明では、電子線装置用試料保持手段に、ガス雰囲気と試料室の真空を隔離,試料周囲の雰囲気を密閉したセルを構成するために、試料の上下に隔膜を配し、さらにセル内にガスを供給するガス供給手段、および排気する排気手段を備え、前記排気手段はセル内に設けたガス排気管と、セルと貫通するように試料保持手段の側壁に設けられた開閉可能な排気孔を設けた。隔膜の材質は電子線が透過可能なカーボン膜,酸化膜,窒化膜などの軽元素で構成される非晶質膜とした。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

試料を保持する試料ホルダと、 前記試料の周囲を真空雰囲気に保つ試料室と、 一次電子線を放出する電子源から放出される電子線を収束し、前記試料に照射する電子線制御装置と、 前記試料から発生した電子を検出する検出器と、 前記検出器からの信号に基づいて前記試料に関する試料像を作成する試料像制御装置と、 前記試料像を表示する表示装置と、 前記試料像を記録する記録装置と を備えた電子顕微鏡において、 前記試料ホルダに保持された前記試料の上下に隔膜を配して前記試料室の真空雰囲気とガス雰囲気とを隔離するセルと、 前記セル内にガスを供給するガス供給装置と、 前記セル内から前記ガスを排気するガス排気装置とを備え、 前記ガス排気装置には、前記セル内に設けられたガス排気管と、前記セルを貫通するように前記試料ホルダの側壁に設けられた開閉可能な排気孔とが設けられており、前記ガス排気管および前記排気孔の両方から前記セル内の排気が可能であることを特徴とする電子顕微鏡。

IPC (2件)：

H01J 37/20 ,  H01J 37/18

FI (4件)：

H01J37/20 F ,  H01J37/20 A ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 E

Fターム (5件)：

5C001AA01 ,  5C001BB01 ,  5C001BB03 ,  5C001CC03 ,  5C033KK09