特許
J-GLOBAL ID：201103031555622623
静電トルカ型加速度計
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-252122
公開番号（公開出願番号）：特開2001-074771
特許番号：特許第3371250号
出願日： 1999年09月06日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ヒンジにより変位可能に支持された板状質量体の両板面に対向して2つの固定電極板が配置され、それら質量体と2つの固定電極板との各間にそれぞれ静電容量検出用電極対とトルカ用電極対とが別々のものとされて構成され、加速度入力による質量体の変位を静電容量の変化によって検出し、その検出出力に基づきトルカ用電極対に電圧を印加して質量体を中立位置に戻す構造とされた静電トルカ型加速度計であって、上記質量体の重心を通りその両板面と垂直な軸上の位置に、頂面を上記静電容量検出用電極として構成されたストッパがそれぞれ突出形成され、上記質量体の両板面の上記頂面を上記静電容量検出用電極として構成されたストッパを除く領域に上記トルカ用電極がそれぞれ形成されていることを特徴とする静電トルカ型加速度計。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01P 15/13
, G01P 15/02 A
