特許

J-GLOBAL ID：201103031693651154

薄膜コンデンサおよびその製造方法

発明者： 松原 正吾 ,  宮坂 洋一
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：特許公告
出願番号（国際出願番号）：特願平1-226030
公開番号（公開出願番号）：特開平3-087055
出願日： 1989年08月30日
公開日（公表日）： 1991年04月11日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基板上に形成され、下部電極、誘電体、上部電極が順次積層された構造の薄膜コンデンサにおいて、誘電体を直接成膜する下部電極がルテニウムシリサイドからなることを特徴とする薄膜コンデンサ。

IPC (4件)：

H01L 27/04 C 8427-4M ,  H01G 1/005 9174-5E ,  H01G 1/01 9174-5E ,  H01G 4/06 102 9375-5E

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭62-222616
  
• 特開平1-175294