特許

J-GLOBAL ID：201103031725155235

ガーネットのエッチング方法

発明者： 新宅 敏宏 ,  宇野 武彦 ,  首藤 啓三
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 中村 純之助
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-287821
公開番号（公開出願番号）：特開平3-150378
特許番号：特許第2703076号
出願日： 1989年11月07日
公開日（公表日）： 1991年06月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】塩素系ガスをイオン化またはプラズマ化して、反応性エッチングによりガーネットをエッチングすることを特徴とするガーネットのエッチング方法。

IPC (3件)：

C23F 4/00 ,  C30B 33/12 ,  H01F 41/14

FI (3件)：

C23F 4/00 E ,  C30B 33/12 ,  H01F 41/14