特許

J-GLOBAL ID：201103031836696855

ダイヤモンド被覆部材およびその製造方法

発明者： 坪川 雅也 ,  伊藤 利通 ,  林 成幸
出願人/特許権者： 日本特殊陶業株式会社
代理人 (1件)： 福村 直樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-055544
公開番号（公開出願番号）：特開平2-233592
特許番号：特許第2760837号
出願日： 1989年03月08日
公開日（公表日）： 1990年09月17日
請求項（抜粋）：

【請求項1】薄膜被形成部材上にダイヤモンド中間層を介してダイヤモンド層を備えるとともに、前記ダイヤモンド中間層と前記ダイヤモンド層とからなる被覆膜の厚みが10μm以下であり、前記ダイヤモンド中間層と前記ダイヤモンド層とがそれぞれ以下の条件、前記ダイヤモンド中間層は、厚みd1が0.2〜3μmであり、結晶性R<1.0である。{ただし、前記結晶性Rはラマンスペクトル強度の強度比h1/h2であり、h1はダイヤモンド状炭素(DLC)のピーク強度と1000cm-1の強度との差[(1550cm-1の強度)-(1000cm-1の強度)]であり、h2はダイヤモンドのピーク強度(1332cm-1の強度)である。}前記ダイヤモンド層は、厚みd2が0.5〜9μmであり、結晶性R>1.2である。(ただし、結晶性Rは前記と同じ意味である。)前記ダイヤモンド中間層の厚みd1<前記ダイヤモンド層の厚みd2を満足することを特徴とするダイヤモンド被覆部材。

IPC (2件)：

C30B 29/04 ,  B23B 27/14

FI (3件)：

C30B 29/04 R ,  B23B 27/14 A ,  C30B 29/04 X

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-197034
  
• 特開昭63-277593