レーザ加工機

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：大岩増雄 , 児玉俊英 , 竹中岑生 , 村上啓吾
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-143665
公開番号（公開出願番号）：特開2011-028250
出願日： 2010年06月24日
公開日（公表日）： 2011年02月10日
要約：

【課題】真円状の加工穴を形成することができるレーザ加工機を得る。【解決手段】レーザ発振器11と、第1スキャンミラー12aを有しその第1スキャンミラーを軸の周りに揺動させ、第2スキャンミラー12bを有しその第2スキャンミラーを、前記第1スキャナミラーが揺動する軸とほぼ直交する軸の周りに揺動させるガルバノスキャナ13とを備え、前記レーザ発振器11から出射されたレーザ光が前記第1スキャンミラー12aから前記第2スキャンミラー12bを経て走査されるレーザ加工機にあって、前記スキャンミラーには偏光制御膜が施されており、一方はS波の位相をP波に対して遅らせるミラーであり、他方はP波の位相をS波に対して遅らせるミラーである。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

レーザ発振器と、第1スキャンミラーを有しその第1スキャンミラーを軸の周りに揺動させ、第2スキャンミラーを有しその第2スキャンミラーを、前記第1スキャナミラーが揺動する軸とほぼ直交する軸の周りに揺動させるガルバノスキャナとを備え、前記レーザ発振器から出射されたレーザ光が前記第1スキャンミラーから前記第2スキャンミラーを経て走査されるレーザ加工機にあって、前記第1と第2スキャンミラーには、偏光制御膜が施されており、一方はS波の位相をP波に対して遅らせるスキャンミラーであり、他方はP波の位相をS波に対して遅らせるスキャンミラーであることを特徴とするレーザ加工機。

IPC (5件)：

G02B 26/10 , B23K 26/08 , B23K 26/06 , H01S 3/00 , G02B 5/08

FI (5件)：

G02B26/10 C , B23K26/08 B , B23K26/06 Z , H01S3/00 B , G02B5/08 A

Fターム (21件)：

2H042DA02 , 2H042DA04 , 2H042DA05 , 2H042DA10 , 2H042DA12 , 2H042DA14 , 2H042DA16 , 2H042DC02 , 2H042DC09 , 2H042DE06 , 2H042DE07 , 2H045AB13 , 2H045AB73 , 2H045CB32 , 4E068AF00 , 4E068CA17 , 4E068CB10 , 4E068CD12 , 4E068CE03 , 4E068DA10 , 5F172ZZ01

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