パターン形状検査装置及びパターン形状検査方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋勇
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-344681
公開番号（公開出願番号）：特開2000-231634
特許番号：特許第3341742号
出願日： 1999年12月03日
公開日（公表日）： 2000年08月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】検査光を照射する光源と、この光源から照射された検査光を走査する走査部と、この走査部によって走査された検査光を分割する検査光分割部と、この検査光分割部によって分割された一方の検査光を受光してモニタ信号に変換するモニタ光検出部と、前記検査光分割部によって分割された他方の検査光のうちパターン形状を透過した透過光を受光して透過検出信号に変換する透過光検出部とを備えると共に、前記モニタ光検出部から出力されるモニタ信号のうち前記走査部による主走査時間内での交流成分を当該主走査毎に除去して略一定値の矩形状波へ変換する波形整形部と、この波形整形部にて整形された矩形状波を除数群として前記透過検出信号を除算する第1の補正部と、この第1の補正部で補正された透過検出信号を予め定められた基準透過信号を除数群として除算すると共に当該除算結果を検査画像として出力する第2の補正部とを備えたことを特徴とするパターン形状検査装置。

IPC (2件)：

G06T 1/00 460 , H04N 1/401

FI (2件)：

G06T 1/00 460 D , H04N 1/40 101 A

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平4-362789
特開平3-034774
画像入力装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-262820 出願人：株式会社ニコン

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審査官引用 (2件)

特開平4-362789
特開平3-034774

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