特許

J-GLOBAL ID：201103032292126770

コンフォーカル顕微鏡

発明者： 竹内 淳
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (2件)： 稲本 義雄 ,  西川 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-157921
公開番号（公開出願番号）：特開2011-013483
出願日： 2009年07月02日
公開日（公表日）： 2011年01月20日
要約：

【課題】検出感度の良いコンフォーカル顕微鏡を提供できるようにする。【解決手段】光偏向素子16は、試料Sと共役な位置であって、照明光学系と結像光学系の両方の光路上に配置され、その面上に2次元に配列された複数の微小ミラーの各々を個別に偏向制御して、それらの微小ミラーを順次駆動することにより、照明光学系の一部として試料S上の所望の箇所に光を導くとともに、結像光学系の一部としてその戻り光を検出器24に導き、光減光部材18は、複数の微小ミラーにより偏向された試料Sの走査に不要な光を減光する。このようにして、試料Sの走査が行われるので、不要な光が迷光となるのを防止し、観察対象からの光を感度良く検出することができる。本発明は、例えば、コンフォーカル顕微鏡に適用できる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光源からの光を試料に照射するための照明光学系と、 前記試料からの光を対物レンズにより集光して結像するための結像光学系と、 前記試料と共役な位置であって、前記照明光学系と前記結像光学系の光路上に配置され、選択的に偏向制御可能な複数の微小ミラーを有した光偏向素子と、 前記光源からの光を選択的に前記試料上の所望の箇所に導くように、前記微小ミラーを順次選択し、選択された前記微小ミラーの角度を変更するように前記光偏向素子の偏向制御を行う制御手段と、 前記複数の微小ミラーにより偏向された前記試料の照明に不要な光を減光する光減光部材と を備えることを特徴とするコンフォーカル顕微鏡。

IPC (1件)：

G02B 21/00

FI (1件)：

G02B21/00

Fターム (7件)：

2H052AA08 ,  2H052AC04 ,  2H052AC15 ,  2H052AC27 ,  2H052AD07 ,  2H052AD19 ,  2H052AF06