特許

J-GLOBAL ID：201103032333169927

フォトレジスト溶解液用消泡剤組成物

発明者： 駄栗毛 真 ,  木下 泰彦
出願人/特許権者： サンノプコ株式会社 ,  旭化成イーマテリアルズ株式会社
代理人 (1件)： 櫻井 健一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-133844
公開番号（公開出願番号）：特開2002-328478
特許番号：特許第4602589号
出願日： 2001年05月01日
公開日（公表日）： 2002年11月15日
請求項（抜粋）：

【請求項1】式(1) R-O(CH2CH2O)m-(CH2CH(CH3)O)n-H ・・・・(1) (ただし、Rは炭素数10〜22の直鎖または分岐鎖アルキル基を示し、mは8〜20、nは10〜30の数を示す)で表される化合物Aと、 プロピレングリコール、グリセリン、トリメチロールプロパンの中から選ばれる少なくとも1種にプロピレンオキシドを付加した後エチレンオキシドを付加した化合物であって、重量平均分子量が1,500〜5,000でかつポリエチレンオキシド基の化合物全体に占める割合が5〜25質量%である化合物Bとを、必須成分として含有することを特徴とするフォトレジスト溶解液用消泡剤組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/32 ( 200 6.01) ,  B01D 19/04 ( 200 6.01) ,  H01L 21/027 ( 200 6.01)

FI (3件)：

G03F 7/32 ,  B01D 19/04 B ,  H01L 21/30 569 E