圧電体薄膜とその製造方法、インクジェットヘッド、インクジェットヘッドを用いて画像を形成する方法、角速度センサ、角速度センサを用いて角速度を測定する方法、圧電発電素子ならびに圧電発電素子を用いた発電方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：内藤浩樹 , 永野大介 , 藤井兼太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-120018
公開番号（公開出願番号）：特開2011-249489
出願日： 2010年05月26日
公開日（公表日）： 2011年12月08日
要約：

【課題】圧電特性の良い非鉛材料薄膜を実現するために、結晶配向性に優れた(Na,Bi)TiO3-BaTiO3薄膜およびその製造方法を提供すること。【解決手段】基板12上の(111)面方位である電極膜13上に形成された、ペロブスカイト型複合酸化物(Na,Bi)TiO3-BaTiO3圧電体層15において、電極膜13との界面に隣接して、(111)面方位である(NaxBi0.5)TiO0.5x+2.75-BaTiO3(0.29≦x≦0.4)界面膜14を設けている。本発明による(Na,Bi)TiO3-BaTiO3圧電体層15は、(111)面方位にのみに強く結晶配向することで優れた圧電特性を示し、鉛を含まない元素による圧電体薄膜を提供することができ、インクジェットヘッド、角速度センサ、圧電発電素子等への応用が可能となる。【選択図】図1A

請求項（抜粋）：

(111)面方位である電極層上に形成された (111)面方位である(Na,Bi)TiO3-BaTiO3圧電体層において、電極層との界面に隣接して、(111)面方位である (NaxBi0.5)TiO0.5x+2.75-BaTiO3 (0.29≦x≦0.4) 界面層を設けたことを特徴とする圧電体薄膜。

IPC (12件)：

H01L 41/22 , H01L 41/09 , H01L 41/08 , H01L 41/187 , H01L 41/18 , H01L 41/113 , B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16 , G01P 9/04 , G01C 19/56 , C23C 14/34

FI (12件)：

H01L41/22 Z , H01L41/08 J , H01L41/08 Z , H01L41/08 D , H01L41/18 101J , H01L41/18 101Z , H01L41/08 G , B41J3/04 103A , B41J3/04 103H , G01P9/04 , G01C19/56 , C23C14/34 N

Fターム (21件)：

2C057AG12 , 2C057AG44 , 2C057AP52 , 2C057BA04 , 2C057BA14 , 2F105AA02 , 2F105AA08 , 2F105BB01 , 2F105BB14 , 2F105CC01 , 2F105CD02 , 2F105CD06 , 2F105CD13 , 4K029AA06 , 4K029AA24 , 4K029BA43 , 4K029BB02 , 4K029BB07 , 4K029CA06 , 4K029DC05 , 4K029DC35

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