特許
J-GLOBAL ID：201103032409210689
マテリアル廃却機構付MBE装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川瀬 茂樹
公報種別：特許公告
出願番号（国際出願番号）：特願平1-221041
公開番号（公開出願番号）：特開平3-083890
出願日： 1989年08月28日
公開日（公表日）： 1991年04月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】基板を取りつけるべき基板マニピユレータと、液体窒素を収容するための液体窒素シユラウドと、原料物室を収容しこれを加熱して分子線とし基板に分子線を照射するための分子線セルと、基板マニピユレータ、液体窒素シユラウド、分子線セルを内包する成長室チヤンバ、成長室チヤンバの内部を真空に引く真空ポンプと、分子線セルを支持しこれを傾倒することのできる分子線セル支持傾倒機構と、分子線セルのるつぼから廃却されたマテリアルを受けるため成長室チヤンバ下部に設けた材料廃却室とよりなり、分子線セルのるつぼを傾倒しマテリアルを材料廃却室へ廃却できるようにした事を特徴とするマテリアル廃却機構付MBE装置。
IPC (2件)：
C30B 23/08 M
, H01L 21/203 M 8122-4M
