特許
J-GLOBAL ID：201103032438279825
スピンコータ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-310172
公開番号（公開出願番号）：特開平3-169006
特許番号：特許第2845525号
出願日： 1989年11月28日
公開日（公表日）： 1991年07月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】半導体基板を真空吸着し回転させる基台と、該半導体基板の表面に種々の薬剤を滴下あるいは噴霧するノズルを有するスピンコータにおいて、前記基台に設けられるとともに前記半導体基板を支える少くとも3本以上のピンと、このピンにかかる分担荷重を算出し、前記半導体基板の重心位置を求める手段と、この求められた前記半導体基板の重心位置と前記基台の回転中心位置とを合わせる制御板とを有することを特徴とする半導体製造装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/30 564 C
, B05C 11/08
