特許
J-GLOBAL ID：201103032634493754
基板受渡装置および基板処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
吉田 茂明
, 吉竹 英俊
, 有田 貴弘
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-362064
公開番号（公開出願番号）：特開2002-231785
特許番号：特許第3971601号
出願日： 2001年11月28日
公開日（公表日）： 2002年08月16日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板を収納する収納容器を収容するとともに、前記収納容器からの基板の搬出または前記収納容器への基板の搬入を行う基板受渡装置であって、
前記収納容器を収容する収容部と、
前記収容部の側方に配置され、前記収納容器からの基板の搬出または前記収納容器への基板の搬入が行われる際に、前記収納容器を載置する載置台と、
前記収容部と前記載置台との間で前記収納容器に対する基板の搬出および搬入の方向と実質的に垂直な搬送方向に沿って前記収納容器を搬送する搬送手段と、
を備え、
前記搬送手段は、前記収納容器を下方より保持して略鉛直方向に沿って昇降する搬送アームを有し、
前記載置台には、前記搬送アームが略鉛直方向に沿って通過可能な切り欠き部が形成され、
前記切り欠き部の前記搬送方向に沿った前記収容部側が開放されていることを特徴とする基板受渡装置。
IPC (5件)：
H01L 21/677 ( 200 6.01)
, H01L 21/673 ( 200 6.01)
, B65G 1/04 ( 200 6.01)
, B65G 1/14 ( 200 6.01)
, B65G 49/07 ( 200 6.01)
H01L 21/68 A
, H01L 21/68 T
, B65G 1/04 505 A
, B65G 1/14 B
, B65G 49/07 L
