特許
J-GLOBAL ID：201103032783198820
被洗浄部材の洗浄方法および洗浄装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
服部 雅紀
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-398213
公開番号（公開出願番号）：特開2002-192091
特許番号：特許第3613462号
出願日： 2000年12月27日
公開日（公表日）： 2002年07月10日
請求項（抜粋）：
【請求項1】被洗浄部材の空間部、および前記被洗浄部材と前記被洗浄部材を固定する搭載治具との間に形成される液溜まり部に液体を充填する段階と、前記空間部および前記液溜まり部に充填された液体を、突沸により蒸発除去する段階と、を含むことを特徴とする被洗浄部材の洗浄方法。
IPC (1件)：
FI (2件)：
B08B 3/10 Z
, B08B 3/10 A
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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