特許
J-GLOBAL ID:201103032956828131

マイケルソン干渉計

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 磯野 道造
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-209226
公開番号(公開出願番号):特開2001-027509
特許番号:特許第3702440号
出願日: 1999年07月23日
公開日(公表日): 2001年01月30日
請求項(抜粋):
【請求項1】 上面および下面ならびに周側面で形成され、前記周側面に光線入射面、第1プリズム反射面、第1平面、第2平面を有する第1プリズム柱体と、 上面および下面ならびに周側面で形成され、前記周側面に光線出射面、第2プリズム反射面、第3平面、第4平面を有する第2プリズム柱体と、 前記第1プリズム柱体の第1平面と前記第2プリズム柱体の第3平面とを隣接して配置し、その隣接する前記第1平面および前記第3平面に沿って設けられた、光線を反射光と透過光に分割するビームスプリッタと、 前記第1プリズム柱体の光線入射面に接続して設けられた光線入射手段と、 前記第2プリズム柱体の光線出射面に接続して設けられた光検出手段と、 前記光線が拡散光である際にその拡散光を平行光とし、かつ、前記光線が平行光である際にその平行光を収束光とする変換手段と、を備え、 前記第1プリズム柱体は、前記光線入射面から入射された光線を、前記第1平面および前記ビームスプリッタに向かって反射する位置に、前記第1プリズム反射面を有すると共に、前記ビームスプリッタからの光線を、再び当該ビームスプリッタに向かって反射する位置に、反射面である前記第2平面を有し、 前記第2プリズム柱体は、前記第3平面および前記ビームスプリッタからの光線を、前記光線出射面に反射する位置に、前記第2プリズム反射面を有すると共に、前記ビームスプリッタからの光線を、再び当該ビームスプリッタに向かって反射する位置に、反射面である前記第4平面を有し、 前記光線入射手段、前記光線入射面、および、前記光線入射面から前記第1平面までの光路中のいずれか一つに前記変換手段を設けるか、または、前記変換手段として前記第1プリズム反射面を反射曲面として形成し、かつ、 前記第3平面から前記光線出射面までの光路中、前記光線出射面、および、前記光検出手段のいずれか一つに前記変換手段を設けるか、または、前記変換手段として前記第2プリズム反射面を反射曲面として形成し、 前記第1プリズム柱体および前記第2プリズム柱体は、前記第1平面および第3平面に沿って、相対的に移動自在としたことを特徴とするマイケルソン干渉計。
IPC (1件):
G01B 9/02
FI (1件):
G01B 9/02

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