特許

J-GLOBAL ID：201103033321827518

AlTi系合金スパッタリングターゲット及び耐摩耗性AlTi系合金硬質皮膜並びに同皮膜の形成方法

発明者： 阿部 利彦 ,  橋本 等 ,  朴 容浩 ,  齋藤 吉信 ,  武田 裕正 ,  及川 広勝
出願人/特許権者： 工業技術院長 ,  東北特殊鋼株式会社
代理人 (2件)： 小越 勇 (外1名) ,  小越 勇
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-106115
特許番号：特許第3089262号
出願日： 1999年04月14日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 AlTi系合金スパッタリングターゲットの組成が、AlxTi1-x-ySiyであり、x及びyがそれぞれ0.05≦x≦0.7、0.1<y≦0.25であることを特徴とする粉末冶金法によって得られたAlTi系合金スパッタリングターゲット。

IPC (3件)：

C23C 14/34 ,  C22C 14/00 ,  C23C 14/06

FI (3件)：

C23C 14/34 A ,  C22C 14/00 Z ,  C23C 14/06 L