特許

J-GLOBAL ID：201103033451143653

超音波センサー

発明者： 中村 友亮
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-287179
公開番号（公開出願番号）：特開2011-217351
出願日： 2010年12月24日
公開日（公表日）： 2011年10月27日
要約：

【課題】超音波を良好に受発信できる超音波センサーを提供すること。【解決手段】開口部211を有するセンサーアレイ基板2と、センサーアレイ基板2上に設けられて、開口部211を閉塞する支持膜3と、支持膜3の厚み方向から見る平面視において、開口部211の内側領域に設けられ、支持膜3上に形成される圧電体と、平面視において、少なくとも開口部211が形成される領域において、支持膜3との間で、外部空間から密閉される第1空間S1を形成するとともに、開口部211に対向して、手指に接触可能な接触部522を備える第1樹脂部52と、第1空間S1に連通し、外部空間から密閉される第2空間S2を形成する第2樹脂部53と、第1空間S1及び第2空間S2に充填される超音波伝達媒体6と、を備える。第2樹脂部53の少なくとも一部には、支持膜3の膜厚方向の剛性よりも小さい剛性の可撓部532が設けられる。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

開口部を有する支持体と、 前記支持体上に設けられて、前記開口部を閉塞する支持膜と、 前記支持膜の厚み方向から見る平面視において、前記開口部の内側領域に設けられ、前記支持膜に下部電極、圧電膜、及び上部電極を順に積層して形成される圧電体と、 前記平面視において、少なくとも前記開口部が形成される領域において、前記支持膜との間で、外部空間から密閉される第1空間を形成するとともに、前記開口部に対向して、検査対象に当接可能な当接部を備える第1樹脂材と、 前記第1空間に連通し、外部空間から密閉される第2空間を形成する第2樹脂材と、 前記第1空間及び前記第2空間に充填される超音波伝達媒体と、を備え、 前記第2樹脂材の少なくとも一部には、前記支持膜の膜厚方向の剛性よりも小さい剛性の可撓部が設けられる ことを特徴とする超音波センサー。

IPC (3件)：

H04R 17/00 ,  G01S 7/521 ,  A61B 8/00

FI (4件)：

H04R17/00 330G ,  G01S7/52 A ,  A61B8/00 ,  H04R17/00 330J

Fターム (19件)：

4C601EE03 ,  4C601GA01 ,  4C601GB03 ,  4C601GC01 ,  4C601GC10 ,  5D019AA24 ,  5D019BB18 ,  5D019EE01 ,  5D019EE02 ,  5D019FF04 ,  5J083AA02 ,  5J083AB17 ,  5J083AC29 ,  5J083AD04 ,  5J083AE08 ,  5J083CA01 ,  5J083CA13 ,  5J083CA35 ,  5J083CB03