特許
J-GLOBAL ID：201103033491791038
ケース
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金山 聡
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-224449
公開番号（公開出願番号）：特開2001-053136
特許番号：特許第4286991号
出願日： 1999年08月06日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基板、ウエハのいずれかの薄板状の製品を、1枚づつ、その端部にて保持して、搬送、保管を行う、ケースであって、底部に固定された製品固定部に、製品をその端部にて保持した状態で、蓋部と底部とを合わせることにより密封するもので、底部には、インレット部、アウトレット部からなる、不活性なガスを充填するための充填部を備えており、密封した後に、充填部にて不活性なガスを充填した状態として、搬送、保管を行うもので、底部に備えられた充填部にて充填される不活性なガスを、ケース内に拡散して導くための、底部に保持された拡散部を設けており、密封した際、底部、拡散部、製品、蓋部の順に、配置するものであり、拡散部は、底部を覆い、底部に平行な板状の基材からなり、該板状の基材には、板状の基材の所定領域に渡り分散して、ケース内の気体を排出するための排気孔を、二次元的に複数設けて、且つ、インレットから充填される不活性なガスを、製品の蓋部側に供給するための、インレットから板状の基材の製品側に達する通気路を設けている、あるいは、該板状の基材には、板状の基材の所定領域に渡り分散して、充填される不活性ガスを供給するための供給孔を、二次元的に複数設けて、且つ、製品の蓋部側からケース内のガスを排出するための、アウトレットから前記板状の基材の製品側に達する通気路を設けている、ことを特徴とするケース。
IPC (2件)：
H01L 21/673 ( 200 6.01)
, B65D 85/86 ( 200 6.01)
H01L 21/68 T
, B65D 85/38 R
