ガスレーザ装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：木村高久 , 小幡義之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-052312
公開番号（公開出願番号）：特開2001-332786
特許番号：特許第4367886号
出願日： 2001年02月27日
公開日（公表日）： 2001年11月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】レーザチャンバ内のカソード用ホルダでカソードを保持しアノード用ホルダでアノードを保持すると共に前記カソードと前記アノードを対向して配置し、前記カソードと前記アノードの間で放電することによりハロゲンガスを含むレーザガスを励起させるガスレーザ装置において、前記アノードは、前記カソードとの間で放電が行われる部位に、誘電体または絶縁体がコーティングされていることを特徴とするガスレーザ装置。

IPC (1件)：