高分解能荷電粒子エネルギー検出ミラー分析システム及びその使用方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：笹島富二雄 , 西山春之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-560602
特許番号：特許第4624556号
出願日： 1999年07月13日
請求項（抜粋）：

【請求項1】単段式の円筒ミラー分析計のみが設けられる場合に可能なものに比べて改善された分解能で荷電粒子エネルギーの検出を行う、連続複段式の高分解能荷電粒子エネルギー検出伸縮型円筒ミラー分析システムであって、第1の端部及び第2の端部を夫々有する、連続した第1段及び第2段の円筒ミラー分析計を含んで構成され、前記第1段の円筒ミラー分析計の第2の端部は、前記第2段の円筒ミラー分析計の第1の端部に接続され、前記第1段及び第2段の円筒ミラー分析計のそれぞれは、 a)内表面と第1及び第2の端部とを伴う管状壁を有する略管状の外側要素であって、前記第1段及び第2段の円筒ミラー分析計の外側要素の間に断続部を有し、これらの外側要素が該断続部において互いに電気的に絶縁された外側要素と、 b)外表面と第1及び第2の端部とを伴う管状壁を有し、該第1及び第2の端部の双方の近傍に該管状壁を通ずる開口を設けた、前記外側要素に対して同心に配置された略管状の最中心要素であって、前記外側要素の管状壁の内表面と、該最中心要素の管状壁の外表面との間に環状空間が形成されるように、前記外側要素の内部に設けられた最中心要素と、 c)前記第1段及び第2段の円筒ミラー分析計のそれぞれにおいて前記外側及び最中心の略管状要素の間の環状空間に独立に電界を形成可能に、各円筒ミラー分析計の前記外側及び最中心の略管状要素のそれぞれに電気的ポテンシャルを印加する手段と、を含んで構成され、前記荷電粒子が、ユーザが設定したエネルギー検出範囲内のエネルギーを有し、かつ、前記第1段の円筒ミラー分析計の前記最中心要素の第1の端部において管状壁を通ずる開口を通過するために、前記第1段の円筒ミラー分析計に対して受入角度範囲内の角度で接近したことを条件として、前記第1段の円筒ミラー分析計の前記最中心要素の第1の端部において前記環状空間に取り込まれた荷電粒子は、前記外側及び最中心の略管状要素に前記手段により電気的ポテンシャルを印加することにより発生する電界により決定される軌道を有し、前記第1段の円筒ミラー分析計の前記最中心要素の第2の端部において前記第1段の円筒ミラー分析計の環状空間から出た後、前記第2段の円筒ミラー分析計の前記最中心要素の第1の端部において前記環状空間に入り、その軌道は、前記外側及び最中心の略管状要素に前記手段により電気的ポテンシャルを印加することにより発生する電界により決定され、前記第2段の円筒ミラー分析計の第2の端部において前記第2段の円筒ミラー分析計の環状空間から出ることができ、前記エネルギー検出範囲は、前記第1段及び第2段の円筒ミラー分析計の前記外側及び最中心の略管状要素のそれぞれに印加される前記電気的ポテンシャルにより、少なくとも部分的に決定されることを特徴とする円筒ミラー分析システム。

IPC (1件)：

H01J 49/48 ( 200 6.01)

FI (1件)：

H01J 49/48

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開平2-010646
特開昭48-032588
特開昭58-172854

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審査官引用 (14件)

特開平2-010646
特開平2-010646
特開昭48-032588

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