特許

J-GLOBAL ID：201103033799326557

静電集塵装置

発明者： 佐伯 宏 ,  池田 順治 ,  石丸 肇
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社 ,  石丸 肇
代理人 (1件)： 滝本 智之 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-185559
公開番号（公開出願番号）：特開平3-052683
特許番号：特許第2746668号
出願日： 1989年07月18日
公開日（公表日）： 1991年03月06日
請求項（抜粋）：

【請求項1】真空隔壁に支持され、この真空隔壁内の除塵対象面に対し、紫外光を放射してダストを正の電荷に帯電させる紫外光放射手段と、上記真空隔壁内で上記除塵対象面との対向面が負の電位を与えられ、上記正の電荷が与えられたダストを吸着する誘電体と、この誘電体における上記除塵対象面との対向面を負の電位とする手段とを備えた静電集塵装置。

IPC (5件)：

B08B 6/00 ,  G21K 5/00 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/205 ,  H05H 7/14

FI (5件)：

B08B 6/00 ,  G21K 5/00 B ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/205 ,  H05H 7/14