特許
J-GLOBAL ID:201103033829919574

メカニカル格子デバイス

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 吉田 研二 ,  石田 純
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-353570
公開番号(公開出願番号):特開2000-180737
特許番号:特許第4409689号
出願日: 1999年12月13日
公開日(公表日): 2000年06月30日
請求項(抜粋):
【請求項1】 メカニカル格子デバイスであって、 表面を有するベースを備え、 上表面を有するスペーサ層が前記ベースの上に設けられ、 長手のチャンネルが前記スペーサ層に形成され、前記チャンネルは互いに相対する第一及び第二の側壁と底面とを有し、 離間し変形可能な複数のリボン要素であって、前記複数のリボン要素は、互いに平行に配置されて前記チャンネルを橋架し、上面と下面を規定するとともに前記チャンネルの両側で前記スペーサ層の上表面に固定され、2より大きいN個の要素にグループ化され、グループを構成する要素の一部は前記チャンネルの一つの側のみに固定され、前記グループの残りの要素は前記チャンネルの他の側のみに固定され、 前記グループ各々が、作動状態で離散レベルから成るパターンを形成し、前記パターンは、2より大きいn段のレベルを有し、前記メカニカル格子デバイス表面上に互いに差し込まれる形で配置された櫛状の構造を形成し、ブレーズ格子に近似するリボン高さの周期的変化波形を示すことを特徴とするメカニカル格子デバイス。
IPC (1件):
G02B 26/08 ( 200 6.01)
FI (1件):
G02B 26/08 A
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 光偏向装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平8-062364   出願人:松下電器産業株式会社
  • カラー画像読取装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平4-193124   出願人:キヤノン株式会社

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