特許

J-GLOBAL ID：201103033940271842

透明導電膜のエッチング液組成物

発明者： ジ ユン ,  クイ ジョン ,  タイ ヒュン
出願人/特許権者： テクノ セミケム カンパニー リミテッド
代理人 (1件)： 伊藤 捷雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-173756
公開番号（公開出願番号）：特開2002-140021
特許番号：特許第3502365号
出願日： 2001年06月08日
公開日（公表日）： 2002年05月17日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 薄膜トランジスター液晶表示装置を含む平板ディスプレイ用表示装置の透明導電膜であるITO膜のパターンエッチングのために用いられるエッチング液で主反応剤であるMHSO4(M=KまたはNaもしくはNH4)と添加剤および水で構成されることを特徴とする、透明導電膜のエッチング液組成物。

IPC (3件)：

H01L 21/308 ,  G02F 1/1343 ,  G09F 9/30 339

FI (3件)：

H01L 21/308 F ,  G02F 1/1343 ,  G09F 9/30 339 Z