被検査物に対する検査方向の方向規制装置及びそれを含む異物検査装置並びに異物検査装置の検光面

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡邊敏
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-015922
公開番号（公開出願番号）：特開平2-203259
特許番号：特許第3050557号
出願日： 1989年01月25日
公開日（公表日）： 1990年08月13日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ターンテーブルに被検査物を載置させるための回転自在な台座を設けるとともに、該台座を回転させるセクタギヤを、ターンテーブルの中心と同心円上に枢支し、該セクタギヤにカムフォロアーを取り付け、該カムフォロアーに係合するカム板に設けたガイド溝を、ターンテーブルと曲率中心が同じである大小の円弧溝部と、これらの円弧溝部を結ぶ連結溝部とにて構成してなる被検査物に対する検査方向の方向規制装置

IPC (1件)：