特許

J-GLOBAL ID：201103034016690584

ガスレーザ用の面予備電離

発明者： ラステム オスマノー ,  ウーヴェ シタム
出願人/特許権者： コーヘレント ゲーエムベーハー
代理人 (2件)： 杉村 憲司 ,  杉村 興作
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-610099
特許番号：特許第4459455号
出願日： 2000年03月29日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 エキシマレーザ或は分子弗素レーザであって、 レーザガスで充填された放電チャンバーと、 前記放電チャンバー内の、放電容積によって分離された1対の主電極と、 前記放電チャンバー内の少なくとも1つのトラッキング放電面予備電離ユニットと、 前記レーザガスを励起するために前記1対の主電極と前記トラッキング放電面予備電離ユニットとに接続された放電回路と、 レーザビームを発生する共振器とを備え、 前記トラッキング放電面予備電離ユニットが、長尺状の誘電体によって1つ以上の関連する予備電離電極から離間された長尺状の予備電離電極を含み、前記誘電体は、前記予備電離電極及び前記1つ以上の関連する予備電離電極に共に接触し、 前記誘電体が、当該誘電体の長軸の一端に、前記放電容積に対向するトラッキング放電面を含み、 予備電離放電が、前記予備電離電極と前記1つ以上の関連する予備電離電極との間の前記トラッキング放電面に沿ってスライドする エキシマレーザ或は分子弗素レーザ。

IPC (2件)：

H01S 3/0977 ( 200 6.01) ,  H01S 3/0975 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01S 3/097 E ,  H01S 3/097 D

引用特許：

審査官引用 (2件)

• コロナ予備電離電極
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-149307   出願人：株式会社小松製作所
• 放電励起ガスレーザ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-061783   出願人：三菱電機株式会社