特許
J-GLOBAL ID：201103034084896042
ガラス基板積層体搬送体
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：
阿部 龍吉
, 蛭川 昌信
, 内田 亘彦
, 菅井 英雄
, 青木 健二
, 韮澤 弘
, 米澤 明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-166314
公開番号（公開出願番号）：特開2000-353739
特許番号：特許第4274394号
出願日： 1999年06月14日
公開日（公表日）： 2000年12月19日
請求項（抜粋）：
【請求項1】ベース部材と、
前記ベース部材上に立設され、一方の面に傾斜面を有する支持部材と、
前記支持部材の両側に着脱自在に固定され複数のロック穴が形成された一対の保持アームと、
両端に突出する方向に付勢されシフトレバーを有するロックピンを備え、前記ロックピンを前記一対の保持アームに形成したロック穴に嵌合することにより装着される押圧部材と、
前記押圧部材の中央部に設けられるにハンドルを備えたネジ機構と、
前記ネジ機構により移動可能に設けられた押圧プレートと、
前記前記押圧プレートの表面に設けられる緩衝材となる保護プレートと、
複数のガラス基板の表面および側部が保護紙で覆われ、前記ベースプレート上で前記傾斜面に支持されるガラス基板積層体と、
を備え、
前記ガラス基板積層体が前記押圧プレートの表面に設けられる緩衝材となる保護プレートを介して保持されることを特徴とするガラス基板積層体搬送体。
IPC (4件)：
H01L 21/673 ( 200 6.01)
, B65D 19/44 ( 200 6.01)
, B65D 85/48 ( 200 6.01)
, B65G 49/06 ( 200 6.01)
H01L 21/68 V
, B65D 19/44 D
, B65D 85/48
, B65G 49/06 Z
