エッチング装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：和泉良彦 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-282471
公開番号（公開出願番号）：特開2001-107269
特許番号：特許第3232069号
出願日： 1999年10月04日
公開日（公表日）： 2001年04月17日
請求項（抜粋）：

【請求項1】エッチング液を被エッチング板材の表面に向けて吹き付けるエッチング液スプレー手段を有するエッチング装置において、上記被エッチング板材の表面に向けて空気を噴射する気体噴射手段を設け、上記気体噴射手段の両側に空気ストップ壁を設けたことを特徴とするエッチング装置。

IPC (3件)：

C23F 1/08 101 , H05K 3/06 , H01L 21/306

FI (3件)：

C23F 1/08 101 , H05K 3/06 Q , H01L 21/306 R

引用特許：

審査官引用 (1件)

特開平3-072088

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