特許

J-GLOBAL ID：201103034258604704

検査装置

発明者： 雨宮 光陽
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (6件)： 大塚 康徳 ,  高柳 司郎 ,  大塚 康弘 ,  木村 秀二 ,  下山 治 ,  永川 行光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-041004
公開番号（公開出願番号）：特開2011-174892
出願日： 2010年02月25日
公開日（公表日）： 2011年09月08日
要約：

【課題】設定された精度の検査結果を得るのに要する時間の点で有利な検査装置を提供する。【解決手段】異物または欠陥としての不具合に関して物体を検査する検査装置は、光を照射された物体からの光を検出し、当該光の強度が閾値を超えた前記物体上の位置を示す信号を出力する検出部と、前記物体上の位置に異物または欠陥としての不具合が存在することを示す情報を出力する制御部と、前記物体上の位置に前記不具合が存在する確率を示す情報を記憶する記憶部と、前記不具合の検査漏れの数に対する上限値を示す情報を入力する操作部と、を備える。前記制御部は、前記検出部に既定回数(少なくとも1回)前記検出を行わせ、推定された総数と前記記憶部に記憶された情報が示す前記確率とに基づいて、決定された全回数から前記既定回数を減じた残り回数の前記検出を前記検出部に行わせる。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

光を照射された物体からの光を検出し、当該光の強度が閾値を超えた前記物体上の位置を示す信号を出力する検出部と、 前記検出部により行われた全回数(少なくとも2回)の前記検出において前記検出部から所定回数(少なくとも2回)以上出力された前記信号が示す前記物体上の位置に異物または欠陥としての不具合が存在することを示す情報を出力する制御部と、を備え、前記不具合に関して前記物体を検査する検査装置であって、 前記検出部から出力された前記信号が示す前記物体上の位置に前記不具合が存在する確率を示す情報を記憶する記憶部と、 前記不具合の検査漏れの数に対する上限値を示す情報を入力する操作部と、を備え、 前記制御部は、 前記物体に対して前記検出部に既定回数(少なくとも1回)前記検出を行わせ、当該検出により出力された前記信号を用いて前記不具合の総数を推定し、 推定された前記総数と前記記憶部に記憶された情報が示す前記確率とに基づいて、前記操作部により入力された情報が示す前記上限値を前記検査漏れの数が超えないために行うべき前記全回数を決定し、 決定された前記全回数から前記既定回数を減じた残り回数の前記検出を前記検出部に行わせる、ことを特徴とする検査装置。

IPC (4件)：

G01N 21/956 ,  H01L 21/66 ,  G01B 11/30 ,  G03F 1/08

FI (4件)：

G01N21/956 A ,  H01L21/66 J ,  G01B11/30 A ,  G03F1/08 S

Fターム (40件)：

2F065AA03 ,  2F065AA21 ,  2F065AA49 ,  2F065BB02 ,  2F065CC18 ,  2F065DD06 ,  2F065FF44 ,  2F065GG04 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ08 ,  2F065MM07 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ41 ,  2F065QQ51 ,  2F065RR06 ,  2G051AA56 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051AC02 ,  2G051AC04 ,  2G051BA05 ,  2G051BA10 ,  2G051BC05 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2H095BD04 ,  2H095BD24 ,  4M106AA01 ,  4M106AA20 ,  4M106BA05 ,  4M106CA38 ,  4M106DB01 ,  4M106DB08 ,  4M106DJ14 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ21