特許
J-GLOBAL ID:201103034554225760
超微粒子
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
作田 康夫 (外1名)
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平1-231613
公開番号(公開出願番号):特開平2-175601
特許番号:特許第3039937号
出願日: 1989年09月08日
公開日(公表日): 1990年07月06日
請求項(抜粋):
【請求項1】酸化錫、酸化インジウム、酸化アンチモンの少なくとも一種の導電性を有する無機酸化物と、酸化珪素からなる反射防止機能を有する無機酸化物とを混合し、酸素ガス及び不活性ガスの存在下で、アーク、レーザ、電子ビームから選ばれた1種の熱源を用いて生成された超微粒子であって、前記酸化珪素中に前記酸化錫、酸化インジウム、酸化アンチモンの少なくとも1種を包含した構造であり、その平均粒径bが0.05μm≦b≦0.1μmの範囲で、超微粒子の全重量の前記導電性の無機酸化物の重量比率wが10%≦w≦50%の範囲内であることを特徴とする超微粒子。
IPC (7件):
C01B 33/18
, C01B 13/14
, C23C 24/08
, G02B 1/11
, H01B 1/08
, H01J 9/20
, H01J 29/88
FI (7件):
C01B 33/18 Z
, C01B 13/14 Z
, C23C 24/08 C
, H01B 1/08
, H01J 9/20 A
, H01J 29/88
, G02B 1/10 A
引用特許:
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