X線元素分析装置

発明者：
出願人/特許権者： ,
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-311853
公開番号（公開出願番号）：特開2001-133419
特許番号：特許第3907890号
出願日： 1999年11月02日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
請求項（抜粋）：

【請求項1】一次線の照射された試料より放出されるX線を検出して試料表面の分析測定を行うX線元素分析装置において、本測定を開始する前の予備測定により得られたX線測定スペクトルに対して所定の関心領域を設定する手段と、測定時間を入力設定する手段と、前記予備測定における前記関心領域のX線測定スペクトル強度と、入力設定された前記測定時間に基づき、前記測定時間における、前記関心領域のX線測定スペクトル強度に対する予想精度を算出し表示する手段を備えていることを特徴とするX線元素分析装置。

IPC (1件)：