プラズマイオン金属被着装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：北條和由
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-115327
公開番号（公開出願番号）：特開2000-266653
特許番号：特許第3517153号
出願日： 1999年03月19日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
請求項（抜粋）：

【請求項1】希薄気体状態に維持される真空槽(1)内にカソードと、このカソードに対向してアノード電極(6)を設けたダイオード放電プラズマイオン金属被着装置に於て,カソードを円筒型であるホローカソード(2)とし,このホローカソード(2)の円筒内壁をスパッタ率良好なターゲット金属(3)で形成すると共に,表面に金属を被着する試料(S)をホローカソード(2)の円筒内に置くプラズマイオン金属被着装置

IPC (3件)：