温度調節装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：津川友士
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-219114
公開番号（公開出願番号）：特開2002-031428
特許番号：特許第3644360号
出願日： 2000年07月19日
公開日（公表日）： 2002年01月31日
請求項（抜粋）：

【請求項1】熱電変換素子(3b)を含み、所定温度に温度調節された空気を供給して半導体製造装置(1)の温度を調節する温度調節部(3)と、熱電変換素子(2c)を含み、所定温度に温度調節された水を供給して前記半導体製造装置(1)の温度を調節する温度調節部(2)と、冷媒の圧縮、断熱膨張を行わせて両温度調節部(2)(3)の放熱側に恒温冷却水を供給する冷凍部(4)とを含んでいることを特徴とする温度調節装置。

IPC (1件)：