特許
J-GLOBAL ID：201103034832473281
結晶シートの製造方法および結晶シート製造装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
青山 葆
, 山崎 宏
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-236962
公開番号（公開出願番号）：特開2001-059764
特許番号：特許第4274640号
出願日： 1999年08月24日
公開日（公表日）： 2001年03月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 金属あるいは半導体材料の加熱融解液中に回転冷却体を部分浸漬し、上記加熱融解液中で上記回転冷却体の表面に上記金属あるいは半導体材料を凝固成長させることによって、上記金属あるいは半導体材料の結晶シートを製造する結晶シートの製造方法であって、
上記回転冷却体の表面と上記加熱融解液の表面とが接触する前後における上記回転冷却体と上記加熱融解液との間の電気特性の変化を検出することによって、上記加熱融解液の湯面位置を検出する
ことを特徴とする結晶シートの製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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