特許
J-GLOBAL ID：201103034843429829
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (18件)：
蔵田 昌俊
, 河野 哲
, 中村 誠
, 福原 淑弘
, 峰 隆司
, 白根 俊郎
, 村松 貞男
, 野河 信久
, 幸長 保次郎
, 河野 直樹
, 砂川 克
, 勝村 紘
, 佐藤 立志
, 岡田 貴志
, 堀内 美保子
, 竹内 将訓
, 市原 卓三
, 山下 元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-010952
公開番号（公開出願番号）：特開2011-085600
出願日： 2011年01月21日
公開日（公表日）： 2011年04月28日
要約：
【課題】間欠ラスター走査に生じる振動ノイズが低減された走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】Y走査信号の振幅値は、画像データを取得する画像取得時間Tyuの間だけ直線的に増加し、画像データの取得終了後直ちにほぼ0に戻る。一方、X走査信号の振幅値は常に一定で、画像データの取得時の振幅値のままである。【選択図】図10
請求項（抜粋）：
尖った先端を持つ探針を試料に近接させた状態で、探針と試料を相対的にラスター走査しながら試料の表面との間に発生する物理量を検出することにより画像情報を得る走査型プローブ顕微鏡であって、
前記ラスター走査を制御する走査制御部と、
前記走査制御部から出力されるX走査信号に応じて前記試料と前記探針のどちらか一方をX方向(ラスター走査の走査線方向)に走査するX走査手段と、
前記走査制御部から出力されるY走査信号に応じて前記試料と前記探針のどちらか一方をY方向に走査するY走査手段と、
前記Y走査信号に同期して画像データを取得する画像データ取得部とを備え、
画像取得時間Tyu[s]とフレームレートN[fps]にはTyu<1/Nの関係があり、画像データの取得開始前と終了後の所定時間の間は前記X走査信号の振幅値が0でないことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (4件)：
G01Q 10/06
, G01Q 30/14
, G01Q 60/32
, G01Q 80/00
G01Q10/06
, G01Q30/14
, G01Q60/32
, G01Q80/00 121
