特許

J-GLOBAL ID：201103034859716143

電子顕微鏡用試料台

発明者： 押村 信満
出願人/特許権者： 住友金属鉱山株式会社
代理人 (5件)： 小池 晃 ,  伊賀 誠司 ,  藤井 稔也 ,  野口 信博 ,  祐成 篤哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-067785
公開番号（公開出願番号）：特開2011-204367
出願日： 2010年03月24日
公開日（公表日）： 2011年10月13日
要約：

【課題】 高精度のEBSD解析が可能な電子顕微鏡用試料台を提供する。【解決手段】 電子顕微鏡用試料台31は、試料ステージ5に装着可能な試料ホルダ9に取付けられる台座33と、台座33に対して垂直に固定された軸35と、本体内部の軸方向に延びる中空部37aが形成されるとともに、本体胴部側面に少なくとも1つの貫通孔41が形成され、中空部37aを介して軸35に対して挿入され、軸35に挿入された状態で軸35の円周方向に回転可能な中空部材37と、貫通孔41に挿入され、軸35と中空部材37とを支持することにより、中空部材37と軸35との相対的な位置を固定する固定部材39とを備える。中空部材37の上面には、試料3が取付けられる。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

電子顕微鏡の試料ステージに装着可能な試料ホルダに取付けられる台座と、 前記台座に対して垂直に固定された軸と、 本体内部の軸方向に延びる中空部が形成されるとともに、本体胴部側面に少なくとも1つの貫通孔が形成され、該中空部を介して前記軸に対して挿入され、該軸に挿入された状態で該軸の円周方向に回転可能な中空部材と、 前記貫通孔に挿入され、前記軸と前記中空部材とを支持することにより、前記中空部材と前記軸との相対的な位置を固定する固定部材とを備え、 前記中空部材の上面に試料が取付けられることを特徴とする電子顕微鏡用試料台。

IPC (1件)：

H01J 37/20

FI (1件)：

H01J37/20 A

Fターム (4件)：

5C001AA01 ,  5C001AA06 ,  5C001AA08 ,  5C001CC04