特許
J-GLOBAL ID：201103034954716126
超清純流体の加圧供給装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
柳野 隆生
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-253175
公開番号（公開出願番号）：特開2001-073930
特許番号：特許第3570307号
出願日： 1999年09月07日
公開日（公表日）： 2001年03月21日
請求項（抜粋）：
【請求項1】内部を変形可能な隔膜で分離して、超清純流体室と作動流体室とを設けた加圧部を複数並設し、ポンプにより所定圧力に加圧した作動流体を複数流路に分岐し、それぞれ作動バルブを介して前記加圧部の作動流体室に供給する一方、超清純流体供給装置から超清純流体を各加圧部の超清純流体室にそれぞれ補充バルブを介して供給し、前記隔膜を通じて作動流体の圧力で超清純流体を大気圧から所定の圧力まで加圧し、各加圧部で交互に加圧された超清純流体を供給バルブを介して合流させて連続供給してなる超清純流体の加圧供給装置であって、前記加圧部として上下方向に配した円筒状の本体の上下両端を上蓋体と下蓋体で密閉した圧力容器の内部に、前記隔膜を構成するステンレス製のベローズを配し、該ベローズの上端は前記上蓋体に固定し、下端は自由端となし、該ベローズの下端に固定したフランジに下方へ延びた金属製のゲージ杆を固定し、前記下蓋体の中心部には、前記ゲージ杆が貫通する挿通孔を開口し、該下蓋体の下面には下端を閉止した非金属製の制御筒を前記挿通孔に連通するように密封状態で取付け、前記ゲージ杆の下半部は前記制御筒内に位置し、制御筒の外部でその長手方向に間隔を隔てて複数個設けた金属通過センサーによって、ゲージ杆の先端の通過をモニターし、常にベローズの伸縮状態を確認できるようにしたことを特徴とする超清純流体の加圧供給装置。
IPC (2件)：
FI (1件)：
引用特許：
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