特許
J-GLOBAL ID：201103035170198605
シリコン単結晶引上用石英ガラスルツボの製造方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
波多野 久
, 関口 俊三
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-172796
公開番号（公開出願番号）：特開2001-002430
特許番号：特許第3672460号
出願日： 1999年06月18日
公開日（公表日）： 2001年01月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 回転する型内に石英原料粉を供給し、ルツボ形状成形体を形成した後、これをアーク溶融するシリコン単結晶引上用石英ガラスルツボの製造方法により製造された石英ガラスルツボの内表面全体を機械研削し、この内表面全体を高温加熱することによって再溶融することを特徴とするシリコン単結晶引上用石英ガラスルツボの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C30B 15/10
, C03B 20/00 H
