特許

J-GLOBAL ID：201103035224563444

六塩化二珪素の製造方法

発明者： 桐井 精一 ,  生川 満敏 ,  竹末 久幸
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 千葉 博史
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-517427
特許番号：特許第4465961号
出願日： 2001年07月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 高温下におけるクロロシランの熱分解ないし水素還元によって多結晶シリコンを析出させるシリコン反応系から排出された排ガスについて、この排ガスを冷却して凝縮液とし、この凝縮液を蒸留して六塩化二珪素を回収することを特徴とする六塩化二珪素の製造方法。

IPC (4件)：

C01B 33/107 ( 200 6.01) ,  B01D 3/14 ( 200 6.01) ,  B01D 53/46 ( 200 6.01) ,  B01D 53/34 ( 200 6.01)

FI (4件)：

C01B 33/107 Z ,  B01D 3/14 A ,  B01D 53/34 120 A ,  B01D 53/34 ZAB