特許
J-GLOBAL ID:201103035540392015

位置検出装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 京本 直樹 (外2名)
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-066422
公開番号(公開出願番号):特開2000-258107
特許番号:特許第3266134号
出願日: 1999年03月12日
公開日(公表日): 2000年09月22日
請求項(抜粋):
【請求項1】 スケール部とスライダ部との相対的位置を電磁的に検出する位置検出装置において、センサ本体と、前記センサ本体に固定され第一の平面的なコイルパターンが設けられた基板からなる第一スケール部と、前記第一スケール部と複数のコラムを介して結合される第二の平面的なコイルパターンが設けられた基板からなる第二スケール部と、前記第一スケール部と前記第二スケール部との中間位置に配置され前記第一の平面的なコイルパターンとの対向面に第三の平面的なコイルパターンが設けられ前記第二の平面的なコイルパターンとの対向面に第四の平面的なコイルパターンが設けられた基板からなるスライダ部とを有し、前記複数のコラムは、前記第一スケール部と前記第二スケール部とを一定間隔で平行に結合し、前記第一スケール部および前記第二スケール部の端面に切り欠き溝を設けたことを特徴とする位置検出装置。
IPC (3件):
G01B 7/00 ,  G01D 5/20 ,  G01D 5/245 101
FI (3件):
G01B 7/00 D ,  G01D 5/20 S ,  G01D 5/245 101 V
引用特許:
審査官引用 (1件)

前のページに戻る