特許

J-GLOBAL ID：201103035683085164

窒化ケイ素フィルタおよびその製造法

発明者： 宮川 直通 ,  篠原 伸広 ,  荒井 完爾 ,  高橋 秀雄
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-549309
特許番号：特許第3373502号
出願日： 2000年12月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】平均粒子直径が5〜200μmである金属ケイ素粒子40〜85質量%と酸化物セラミックス中空粒子15〜50質量%とを含み、かつ前記金属ケイ素粒子と前記酸化物セラミックス中空粒子の合量が90質量%以上である成形体を窒素中で熱処理することにより金属ケイ素を実質的に窒化ケイ素とする窒化ケイ素フィルタの製造法。

IPC (7件)：

B01D 39/20 ,  C04B 35/584 ,  C04B 35/591 ,  C04B 35/626 ,  C04B 38/06 ,  C04B 38/08 ,  F01N 3/02 301

FI (7件)：

B01D 39/20 D ,  C04B 38/06 E ,  C04B 38/08 D ,  F01N 3/02 301 B ,  C04B 35/58 102 Y ,  C04B 35/58 102 W ,  C04B 35/58 102 Q

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特表昭64-500426