特許
J-GLOBAL ID:201103035805816246

太陽電池の検査方法および検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 中倉 和彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-090110
公開番号(公開出願番号):特開2011-222735
出願日: 2010年04月09日
公開日(公表日): 2011年11月04日
要約:
【課題】 太陽電池の検査精度を上げることができる太陽電池の検査装置と検査方法を提供する。【解決手段】 第2の検査装置30で、太陽電池パネル10を構成する各太陽電池セルに電流を流してEL発光させる。太陽電池セルの良好な部分は発光するが、欠陥部分は発光が弱くなるか発光しないことから、欠陥部分を推定する。つぎに、第3の検査装置40で、太陽電池に通電すると、太陽電池セルの欠陥部分が加熱される。そこで、サーモ像撮影手段で太陽電池のサーモグラフィ画像を得て、温度の高い部分を欠陥と推定する。2つの測定方法で、欠陥部分と推定される部分を比較することで検証を行い、欠陥部分と推定したポイントを第1の検査装置20のラマン分光法で検査する。【選択図】 図4
請求項(抜粋):
1つ以上の太陽電池セルを有する太陽電池の良否を判定する検査装置であって、第1の検査装置と、第2の検査装置および/又は第3の検査装置とを有し、 前記第1の検査装置が、 検査対象となる太陽電池の測定点にレーザ光を照射する投光手段と、 前記測定点における検査対象物から散乱されるラマン散乱光を分光してスペクトルを得る分光手段と、 前記分光手段で得たラマン散乱光のスペクトルから、前記測定点における太陽電池の状態を解析するスペクトル解析手段と、を有し、 前記第2の検査装置が、 検査対象となる太陽電池に電流を通電する電源手段と、 前記電源手段により通電された前記太陽電池からの発光光を撮影する発光光撮影手段と、 前記発光光撮影手段で撮影した太陽電池の撮影画像を解析するEL像解析手段と、を有し、 前記第3の検査装置が、 検査対象となる太陽電池を加熱する加熱手段と、 前記加熱手段により加熱された前記太陽電池の温度を測定するサーモ像撮影手段と、 前記サーモ像撮影手段で撮影した太陽電池の撮影画像を解析するサーモ像解析手段と、を有すること を特徴とする太陽電池の検査装置。
IPC (1件):
H01L 31/04
FI (1件):
H01L31/04 K
Fターム (1件):
5F151KA09

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