特許
J-GLOBAL ID：201103035864675559
基準画像作成方法、パターン認識方法および記録媒体
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
佐藤 一雄
, 橘谷 英俊
, 佐藤 泰和
, 箱崎 幸雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-254771
公開番号（公開出願番号）：特開2001-076152
特許番号：特許第4002037号
出願日： 1999年09月08日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 被測定物の表面に形成されたパターンを認識するパターン認識方法に用いられ、前記パターン認識の基準となる基準画像を作成する方法であって、
前記パターンに基づく前記被測定物の表面形状を表す画像信号を取得して第1のサイズの画像を形成する画像データに変換する第1のステップと、
前記画像データに基づいて、前記パターン形状の特徴性の度合を表すパラメータを抽出する第2のステップと、
前記パラメータに基づいて、特徴性が高いパターンを含み前記第1のサイズよりも小さい第2のサイズを有する領域を前記第1のサイズの画像から複数個選出する第3のステップと、
前記第3のステップにより選出された領域のうち前記パターンの特徴性が最も高い領域を用いて基準画像の候補となる候補画像を作成する第4のステップと、
前記第1のサイズの画像内で、前記候補画像が作成された領域を除く前記第2のサイズの領域毎に前記候補画像と形状が一致する割合を示す相関係数を算出する第5のステップと、
前記相関係数と予め定めた第1のしきい値とを比較する第6のステップと、
前記第6のステップにより前記第1のしきい値以上の前記相関係数を有する領域が検出された場合は、前記候補画像を破棄して前記特徴性が次に高い領域を用いて新たな候補画像を作成する第7のステップと、
前記第1のしきい値以上の前記相関関係を有する領域がなくなるまで前記第5ないし第7のステップを繰返す第8のステップと、
を備え、
前記第2のサイズは、所定数の相互に異なるサイズから選択されるサイズであり、
前記第2のステップは、前記異なるサイズごとに前記パラメータを算出し、これに基づいて前記第2のサイズを最適化するステップを含む、
基準画像作成方法。
IPC (2件)：
G06T 1/00 ( 200 6.01)
, H01L 21/66 ( 200 6.01)
G06T 1/00 305 D
, H01L 21/66 J
