特許
J-GLOBAL ID：201103036151038113
単結晶成長装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
河野 茂夫 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-028459
公開番号（公開出願番号）：特開平2-208278
特許番号：特許第2534341号
出願日： 1989年02月07日
公開日（公表日）： 1990年08月17日
請求項（抜粋）：
【請求項1】一端側に揮発性元素を置き他端側に金属元素を収容したボートを置いたアンプルと、前記アンプルの一端側の外周に配置された低温側加熱部と、前記アンプルの他端側に配置され少なくとも上下に分割された高温側加熱部と、前記ボートの低温側に配置された吸熱部とからなり、前記高温側加熱部により与えられた熱を前記吸熱部で吸熱することにより前記アンプル内の熱流を制御する単結晶成長装置において、前記アンプルの外周であって少なくとも前記高温側加熱部の分割された部分に対応する部分を被覆して前記ボート内の金属元素の融液から前記アンプルの外側へ向かう熱流を抑止する断熱材を設けたことを特徴とする単結晶成長装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C30B 11/00 Z
, H01L 21/208 T
